7纳米duv和euv_EUV光刻技术竞争激烈,三星7纳米EUV制程已完成新思科技物理认证,台积电紧追其后...

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在晶圆代工市场,台积电与三星的竞争始终是大家关心的戏码。三星虽然有高通等VIP客户,但在7纳米制程节点,高通预计会转投台积电,三星要想受更多客户的青睐,只能从制程技术着手了。这也是三星为什么跳过非EUV技术的7纳米制程,直接上7纳米LPPEUV制程技术的原因。如今,三星终于公布了7纳米LPP制程已完成新思科技(Synopsys)物理认证,意味着7纳米EUV制程将可全球量产了。

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目前全球前几大晶圆代工厂商,英特尔10纳米制程还没搞定,距离7纳米制程最遥远。台积电7纳米制程量产比较顺利,会有苹果、海思、高通、NVIDIA、AMD等客户陆续流片、量产。台积电第一代7纳米制程,使用的还是传统多重曝光技术,必须到2019年第2代7纳米制程才会使用EUV光刻技术。

格罗方德也走与台积电相似路线,预计2018年量产7纳米DUV制程还是传统的深紫外光刻技术。对此,号称频率可达5GHz的AMD7纳米Zen2处理器会使用格罗方德的7纳米制程技术,2019年初问世,2020年再下一代才是7纳米EUV制程技术。

相对其他竞争对手,三星在EUV技术最积极。三星直接跳过第一代非EUV光刻7纳米制程,直接使用加入EUV技术的7纳米LPP制程,预定2018下半年正式量产。日前,新思科技与三星已联合宣布,三星使用的7纳米LPP制程技术完成IC验证器的认证。

三星完成这次认证之后,7纳米LPP制程就可立即提供认证的技术资料,包括DRC设计规则检查、LVS布局与原理图、金属填充技术档等予相关客户,意味着三星的7纳米LPP制程正式进入量产阶段。

目前EUV光刻技术竞争激烈,各家大厂抢EUV光刻机也成为重要目标之一。根据之前消息,ASML的EUV光刻机,台积电订购了约10台,三星订购约6台,英特尔订购3台,而格罗方德的EUV订单数量不详,中国中芯国际也订了1台EUV光刻机,将用于7纳米制程技术研究,预计2019年初交货。各家厂商都有EUV光刻机的情况下,似乎未来7纳米节点要胜出,就必须比较各家的技术与管理能力了。

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