本文主要是介绍46寸硅片为什么要留平边(flat)?,希望对大家解决编程问题提供一定的参考价值,需要的开发者们随着小编来一起学习吧!
知 识星球(星球名: 芯片制造与封测社区,星球号: 63559049)里的学员问: 2, 4, 6寸硅片都有 平 边,它们有什么作用 ?硅片的平边(Flat)是什么?
Flat也可以被称为定位边。2,4,6寸硅片不是整个圆形,而是被切掉了一个缺角。用CZ法拉出硅锭后,还未被切割成一片片硅片前,一旦晶向被确定,就会用金刚锯在晶锭上切割出一个或多个平边。因此硅片有1-2个定位边,长的定位边在晶圆底部,短的定位边位置不固定,跟随晶向与掺杂类型发生变化。 定位边位置与晶向的关系?
一般2inch的主定位边长度为15.8mm,4inch硅片主定位边长度为32.5mm,6inch硅片主定位边为57.5mm。4英寸硅片次定位平边的长度约为18 mm,6英寸硅片次定位平边的长度约为22 mm。 欢迎加入我的半导体制造知识社区,答疑解惑,上千个半导体行业资料共享,内容比文章丰富很多很多,适合快速提升个人能力,介绍如下:》
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