留平边专题

46寸硅片为什么要留平边(flat)?

知 识星球(星球名: 芯片制造与封测社区,星球号: 63559049)里的学员问: 2, 4, 6寸硅片都有 平 边,它们有什么作用 ? 硅片的平边(Flat)是什么? Flat也可以被称为定位边。2,4,6寸硅片不是整个圆形,而是被切掉了一个缺角。用CZ法拉出硅锭后,还未被切割成一片片硅片前,一旦晶向被确定,就会用金刚锯在晶锭上切割出一个或多个平边。因此硅片有1-2个