本文主要是介绍等离子体技术【五】--电容耦合射频放电CCP,希望对大家解决编程问题提供一定的参考价值,需要的开发者们随着小编来一起学习吧!
摘自《等离子体放电原理与材料处理》1.3.1
摘自《等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用》2.3.1
这篇关于等离子体技术【五】--电容耦合射频放电CCP的文章就介绍到这儿,希望我们推荐的文章对编程师们有所帮助!
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http://www.chinasem.cn/article/298976。
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