哈默纳科Harmonic执行器在半导体CMP设备中的应用

SHA、FHA、RSF系列执行器是日本Harmonic公司的一款谐波减速机和伺服电机一体化的产品。HMA是大中空直驱力矩电机产品。

SHA系列执行器有6种尺寸可选，最大输出转矩为3419Nm,减速比范围11~161，单向定位精度≤30arcsec（1:80以上速比）。

FHA-C系列执行器4种尺寸可选，最大输出转矩达820Nm，减速比范围50~100，单向定位精度≤30arcsec。

RSF系列执行器4种尺寸可选，最大输出转矩达330Nm，减速比范围50~100，单向定位精度≤90arcsec。

HMA系列直驱电机5种尺寸可选，最大输出转矩33Nm，最高转速6000rpm，中空直径最大60mm，标配绝对值编码器单圈17位多圈计数16位。

北方某客户在CMP设备使用了SHA、RSF、HMA和FHA系列产品：

1、 转台：负载220kg，直径1600mm，交流伺服电机+行星减速机无法满足安装空间和精度要求，选用了SHA65A产品，减速比为1:161，输出转矩为3419Nm，满足了晶片转台大惯量匹配及快速定位需求，中空结构可放置气管和线缆，扁平机身降低安装空间和设备重心；

2、 磨头：选用了RSF-32A产品，集成高分辨率编码器和1:50减速机，使输出端转速波动小，运行平稳，提高了研磨精度；

3、 清洗甩干：选用了HMAB12产品，最高输出转速4800rpm，中空法兰输出结构便于晶片吸取，大扭矩高惯量使甩干速度运行平稳。

4、 FHA-40C产品应用于清洗的提拉翻转机构，减速比为1：100，输出转矩为690Nm，小体积高功率密度降低安装空间需求。

驱动器选用了Copley公司的XEL-230-18，通过EtherCAT总线接入倍福控制器。

Harmonic执行器产品的应用，很好的满足了客户对于提高控制精度，高速定位，紧凑安装空间的需求。