硅片厚度测量

2023-11-21 04:11
文章标签 测量 厚度 硅片

本文主要是介绍硅片厚度测量,希望对大家解决编程问题提供一定的参考价值,需要的开发者们随着小编来一起学习吧!

要求测量硅片的厚度

硅片厚度测量

由于硅片是不透明,且反光的物品,本次测试采用D40A36搭配双通道H4UC控制器,D40A36具有小光斑,分辨率和测量精度都更高,非常适合测量高精度,高分辨率且反光的物品。

(对射侧厚)

(对射侧厚)

蓝色曲线为上镜头高度数据曲线,红色曲线为下镜头高度数据曲线,通过上下镜头的高度数值,可以计算出厚度曲线。

(硅片的厚度数值)

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