4515DO-DS3BK004DP压差传感器MEAS

4515DO-DS3BK004DP测量超低空气或气体压力从25 Pa（水中0.1）到满量程。这些传感器基于一种创新MEMS技术，该技术将微流通道集成在硅传感器芯片中。

同时，传感器使用经验证的原理，通过热质量流量测量推断压差（图1）。加热元件位于两个温度敏感电阻器之间。气流将热量从上游传输到下游电阻器，导致它们之间的温差，从而产生与质量流量成比例的电压信号。由于流量是由两个传感器端口之间的压差引起的，因此输出信号也是所施加压差的测量值。

图2显示了作为压差函数的基本4515DO-DS3BK004DP传感元件的未放大输出。具有高动态范围和对低压（尤其是零下）的高灵敏度。传感器为校准、温度补偿和放大提供数字信号调节。根据是否需要高灵敏度、高动态范围或线性输出信号，压力传感器可以根据不同的应用要求进行优化。

2、传感器结构

4515DO传感器基于硅传感器芯片，尺寸仅为4 mm（0.006 in），其中包含微流道和传感元件。通过将微型流道集成到传感器芯片级（图3），4515DO压力传感器可以实现高达200000 Pa/(ml/s)的极高气动阻抗，比同类传感器高1000倍。这将通过传感器的气体流量降至绝对最小，并在多尘和潮湿环境中以及使用长连接管或过滤器时提供独特的应用优势。在传统的基于流量的差压传感器中，通过传感器的流道和气流由塑料外壳的几何形状决定。相比之下，4515DO-DS3BK004DP器件的微流道是在硅芯片级定义的。这使得传感器外壳的结构具有优势，例如设计灵活性高、封装非常小且稳定以及制造成本降低。此外，用于硅传感器芯片的半导体技术能够实现极低的生产公差以及具有成本效益的批量生产。

3、使用差压传感器进行流量测量

差压传感器的极低压力范围仅为几毫巴（几英寸水柱），通常用于管道中的体积流量测量。例如，医疗设备中的呼吸流量测量以及HVAC应用中的空气流量测量或过滤器控制。人工流量限制，例如通过挡板、孔板或层流元件，会导致流量压降，该压降是体积流量（V）的测量值，可通过差压传感器检测

来自MEAS精量的基于流量的4515DO传感器被校准为压差，可以检测旁通配置中流过流量元件的压降。由于其非常高的气动阻抗，通过传感器的流量限制在最大120-180μl/min。这意味着传感器的行为几乎类似于基于膜的差压传感器，不允许任何流量通过。然而，它仍然显示出对低压的高测量灵敏度，这是热质量流量传感原理的典型特征。