4515DO-DS3BK004DP测量超低空气或气体压力从25 Pa（水中0.1）到满量程。这些传感器基于一种创新MEMS技术，该技术将微流通道集成在硅传感器芯片中。 同时，传感器使用经验证的原理，通过热质量流量测量推断压差（图1）。加热元件位于两个温度敏感电阻器之间。气流将热量从上游传输到下游电阻器，导致它们之间的温差，从而产生与质量流量成比例的电压信号。由于流量是由两个传感器端口之间的压