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书籍:《炬丰科技-半导体工艺》
文章:半导体晶圆级电化学沉积系统
编号:JFKJ-21-321
作者:炬丰科技
大型电镀工艺设备之基本包括:镀槽、导入导入、电源供应器。其中,镀槽是导入导入化学溶液,导入欲为镀之金属或导电用贵重钝态金属引线,供应器则提供表面涂层厚度或电压增加极限:电池或电压保护器(整流器)等。此外,局部系统则能产生镀液循环搅拌功能,降低涂层涂层厚度和增加极限电流密度値,必须提高导电电流(或沉积速度)。
日期同步度
在设计开发机台时,大概的考虑因素是产能发展程度之必须的标准。当然要根据应用需求而定,设备设计满足应用需求,但不可设置计,每天增加孩子设备成本。添加速度所传播的程度,包括:全身分布之内的混合度及局部的均匀度。
声音和声响
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