目录 预备知识 力学：胡克定律（Hooke's law） 材料力学：杨氏模量 光学：平面反射镜  数学：三角函数 螺旋测微器 实验目的  实验仪器 实验原理  1.拉伸法测杨氏弹性模量 2.光杠杆放大法测量微小伸长量 3.杨氏模量 实验步骤 1.测量金属丝直径d 2.调整支架位置，调节底座水平 3.放置光杠杆镜架，调节镜面竖直 4.调整镜尺组，直到清晰看到标尺

EUV光刻机使用的反射镜材质是具有极高精度的钼/硅反射镜。这是因为几乎所有材料对13.5nm的EUV都强烈吸收，故EUV光刻机不能采用DUV那样的透镜，只能采用反射式光学系统。又因为EUV波长与晶格参数接近，很容易发生衍射，反射率也很低，最终的光学反射方案是基于布拉格定律，采用多层镀膜的钼-硅的分布式布拉格反射镜。 钼/硅反射镜是一种高精度的反射镜，广泛应用于高功率激光器、光刻机等光学设备中。这种

空间望远镜是人类研究探索宇宙的最重要和最直接的工具，它的发展关系到人类对宇宙研究的速度和进程，是人类发展进步，认识自然界的一个重要科学手段。而空间反射镜是空间望远镜的最重要组成部分，也是制约空间望远镜发展的一个关键因素。突破大口径、高分辨率空间反射镜的设计及制造，是解决空间望远镜技术的重大技术瓶颈问题、对促进我国空间科学事业的发展具有重大意义。 大口径反射镜制造，碳化硅备受青睐 反射镜如此重要