本文主要是介绍E84-晶圆载具交接自动化，希望对大家解决编程问题提供一定的参考价值，需要的开发者们随着小编来一起学习吧！
E84是一种通讯协议，它的核心作用在于为通讯传感器/设备的开发提供基础架构。
E84协议详细阐述了晶圆载具（如FOUP/POD等）在工厂自动化物料搬运系统（AMHS）与机台装载端口（LP）之间，如何通过光电类传感器实现自动化的交接过程。
当机台装载端口LP切换到自动模式时，晶圆厂的主机或MES系统虽然会发起晶圆装载指令，但并不会直接介入具体的交接操作。此时，E84协议就起到了规范整个交接流程的作用。
具体的交接流程如下：
AMHS系统中的运输设备（如轨道天车OHT、地面移动机器人AMR或空中辊道系统Conveyor等）负责在工厂内运输晶圆载具。当这些运输设备到达机台指定位置时，AMHS和机台之间的传感器会通过一系列光学信号进行交互，确认双方是否准备好进行晶圆载具的接入或送出。一旦准备就绪，交接流程将被触发，并会妥善处理可能出现的异常情况，直至交接任务完成。
E84协议不仅定义了交接过程中所需的信号及其用途，还详细描述了交接动作的顺序、应答响应机制以及异常处理策略，确保了整个过程的顺畅进行。
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