E84是一种通讯协议，它的核心作用在于为通讯传感器/设备的开发提供基础架构。 E84协议详细阐述了晶圆载具（如FOUP/POD等）在工厂自动化物料搬运系统（AMHS）与机台装载端口（LP）之间，如何通过光电类传感器实现自动化的交接过程。 当机台装载端口LP切换到自动模式时，晶圆厂的主机或MES系统虽然会发起晶圆装载指令，但并不会直接介入具体的交接操作。此时，E84协议就起到了规范整个交接流程的