普发Pfeiffer 真空泵WKP1000A/AD使用说明书

行业背景 半导体制造业可以说是现代电子工业的核心产业，广泛应用于计算机、通信、汽车、医疗等领域。而在半导体生产加工过程中，如刻蚀、 镀膜、 扩散、沉积、退火等环节，真空泵都是必不可少的关键设备，它可以构建稳定受控的真空环境，以避免产品出现污染、氧化或者其他缺陷，对于半导体产品的品质、寿命以及性能都有着不可忽视的影响。 为保证真空泵系统安全稳定运行，物通博联提供基于工业智能网关的数据

于英格兰布杰斯希尔报道--(美国商业资讯)--Edwards推出新款nXRi高性能紧凑型干泵，它具有更低的输入功率并且无需维护，可为大量应用带来真正的性能提升和成本优势。首先推出的是抽速为60和90 m 3h -1的两款产品，其抽速是同类尺寸干泵的四倍。 Edwards nXRi干泵在设计时便考虑到尺寸因素，它紧凑的外形和高度使其很容易安装到台面之下，为实验室节省宝贵的空间；这款真空泵重量不到3

声明 本文是学习GB-T 13929-2010 水环真空泵和水环压缩机 试验方法. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们 1 范围 本标准规定了水环真空泵和水环压缩机(不加区分时统称为泵)工厂试验时的试验方法、试验结果 的分析换算与性能容差及试验报告。 本标准适用于任何尺寸的泵以水作工作液体，以环境空气为工作介质的试验。 本标准既适用于不带任何管路附件的

真空泵控制 功能概述 监控当前制动用气压的大小，判断开启关闭真空泵的时机。 原理框图 信号列表 输入信号 序号 信号描述 输入/输出 类型 有效值 （接通时） 湿电流 备注 1 Brake_SW1 Input 数字信号 高有效 制动开关信号1 2 Brake_SW2 Input 数字信号 低有效 制动开关信号