在激光扫描系统中主要有如下几种扫描方式：检流式扫描振镜（包括共振振镜），Nipkow盘扫描，里斯利棱镜，多面转镜和MEMS振镜，最常用的为采用光栅扫描的检流式振镜，其中MEMS振镜体积小巧，单镜即可实现二维扫描，在激光扫描系统中也有较多应用，但是MEMS振镜的扫描轨迹常为Lissajous图像，与相比光栅扫描，较为复杂，在图像采集或者图像输出时，需要将图像按照扫描轨迹进行重建。