CVD(化学气相沉积) 文章目录 CVD(化学气相沉积)CVD的一般反应过程CVD反应速率与温度的关系常见的CVD技术几种CVD的比较实例：多晶硅的制备实例：二氧化硅的制备实例：Si3N4的制备实例：各种层的CVD制备方法常见的CVD反应方程式填充特性小结 CVD的一般反应过程 以下过程是串联进行的，反应速率取决于反应最慢的环节。 CVD反应速率与温度的关系 低温区