半导体FT测试一：电阻测试

等效电阻测试

    通常测试系统，会提供电压来量电流，或者提供电流来量电压。 测试系统通常不会直
接量测电阻值，而是经由量测电压或电流，再利用奥姆定律计算出电阻值。 以下介绍
这两种测量电阻的方法：

• 方法一： 提供电压量电流(VFIM: Voltage Force Current Measure)

此方法是，给予一个已知 2.5V 伏特电压后，利用电流计与待测物串连来量测电流值。
量测后再利用 R=V/I 公式，计算出电阻值。 使用此方法，量测电流值的过程中，要注
意，当电阻 R 很小时(趋近于零)，电流 I 的值会很大。 如此会导致电流计烧毁，或待测
物损坏。 因此，一般情况下，需作电流的限流措施(Current Clamp)。

 如上图所示测得电阻

R = V / I = 2.5V / 2.0mA = 1250Ω
 

• 方法二： 提供电流量电压 (IFVM: Current Force Voltage Measure)

      此方法是，给予一个已知电流 I。 电压计跨接电阻两端后，量测电压值(与待测物并联)。再利用 R=V/I 公式，计算出电阻值。 使用此方法，量测电压值的过程中，要注意，当 未知的电阻 R 趋近于无限大时，所量测出的电压值会很大。 此结果，会导致电压计烧 毁或待测物损坏。 为防止上述情形的发生，一般会作电压值的限压措施(Voltage Clamp)，设定最大的电压值。

最大电压值 V = I * R = 2.50mA * 1375Ω = 2.75V。
最小电压值 V = I * R = 2.50mA * 1125Ω = 2.25V。
因此，电压的限压设定值，会设在 2.75 伏特电压。
 

补充：

测试小电阻（mΩ级）时候，才有大电流，高精度电压测量单元减小测量误差