SECS/GEM金南瓜讲解：通讯

什么是GEM 控制状态?

GEM板的控制状态是E30 GEM的基本要求之一。它定义了主机和设备之间的协作级别，并指定了操作员如何在不同级别的主机控制状态下进行交互。

在半导体工厂中，主机或操作员可以控制设备的加工。双方同时控制设备会带来问题。所以当一方控制设备时，另一方所能进行的操作将受到限制。例如，如果操作员暂停了工艺处理，则不应允许主机发送恢复处理或启动新作业的命令。GEM控制状态就是为了防止此类问题的发生而被建立的。

控制状态如何工作?

控制状态提供三个基本级别的控制。每个级别都描述了主机和设备端可以执行哪些操作。

远程

主机可以最大限度地控制设备。

本地

操作者可以尽可能地控制设备。

主机可以完全访问信息。主机可以使用其他GEM特性(如收集事件、跟踪和状态数据收集)收集数据。

限制主机如何影响设备操作:

禁止启动处理(例如START)或导致物理移动的远程命令。在处理期间，还禁止影响处理的远程命令(停止、中止、暂停、恢复)。

离线

操作者对设备有完全的控制。

主机对设备操作没有控制，信息收集能力非常有限。

In many equipment control applications there is a need for a GEM host to modify one or a small set of
process parameters associated with a recipe. The number of parameters modified, frequency of modification (e.g.,
wafer-to-wafer, batch-to-batch, etc.), range of modification, etc., is largely a function of the equipment control
application. Utilizing GEM, at least two methods are envisioned for modifying process parameters on a tool. With the
first method, ‘Equipment Constants’ can be used to relate process parameters of the updated recipe. Equipment
Constants can also be used in a mode where they relate suggested modifications to process parameters from the stored
recipe; that is, the constants contain only the ± differential from a nominal value. The former mode is preferred because
it better ensures data integrity between the controller and t