本文主要是介绍用于低温探针台的新参数探针选项,希望对大家解决编程问题提供一定的参考价值,需要的开发者们随着小编来一起学习吧!
Lake Shore现在提供两个新的双连接器参数探头套件,可以更轻松地在Lake Shore 探针台中执行电容电压 (CV) 和四点测量。
带参数探头的 CV 测量套件
晶圆级 CV 测量经常用于评估一系列关键半导体参数,包括宽带隙 (WBG) 器件的参数。该套件可使用各种仪器(包括 LCR 表和自动平衡桥式 CV 表)实现与温度相关的晶圆级 CV 测量。
除了特殊的双连接器探头外,该套件还包括用于屏蔽两端探头连接的布线,这种配置将 DUT 附近的两个探头的屏蔽层连接在一起,并在屏蔽层中创建高效的电流返回路径。这种配置最大限度地减少了与布线相关的错误,并有助于确保在站中重新定位探头时测量的整体准确性和可重复性。
带有参数探头的准开尔文测量套件
四点(开尔文连接)测量通常通过使用四个独立的探针臂和探针在探针台中进行,其中一对臂连接到力电路,第二对臂连接到感测电路。但是,使用此测量套件,每个探头上的两个连接器允许仅使用两个探头臂(仅限于非温度传感器臂)配置力感连接。通过这种方式,消除了电缆电阻,即使在焊盘只能容纳单个探头的设备上也可以进行低电阻测量。
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