光刻是集成电路（IC或芯片）制造中的重要工艺之一。简单来说，它是通过使用光掩膜和光刻胶在基板上复制电路图案的过程。 基板将涂覆硅二氧化层绝缘层和光刻胶。光刻胶在被紫外光照射后可以容易地用显影剂溶解，然后在腐蚀后，电路图案将留在基板上。 无尘室（Cleanroom）排除掉空间范围内空气中的微尘粒子等污染物，获得一个相当洁净的环境，常用于高精度制造的产业，包括半导体制造、生物技术、精密机械、医疗等