我国离子注入设备市场规模不断增加 本土企业仍有较大发展空间 离子注入是半导体器件和集成电路生产的关键工艺之一，其提供的高精度和高均匀性可以大幅度提高集成电路的成品率。离子注入设备是芯片制造的核心工艺装备。 　　从全球市场来看，随着科学技术不断进步，半导体产业规模不断扩大，叠加新能源、集成电路等产业发展水平不断提升，市场对芯片等产品的成品率、质量等要求不断提高，离子注入设备市场规模保持增