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碳化硅片有哪些比较重要的参数?

知识星球(星球名:芯片制造与封测社区)里的学员问:请问碳化硅衬底片到客户端验证主要测试什么项目,比较重要的参数有哪些? Lattice Parameters:晶格参数。确保衬底的晶格常数与将要生长的外延层相匹配,以减少缺陷和应力。Stacking Sequence:堆砌顺序。SiC宏观上都是由硅原子和碳原子以1:1的比例构成,但原子层的排列顺序不同,则会形成了不同的晶体结构。因此碳化硅有着许多不