烧蚀专题

Gigaphoton出厂烧蚀通孔加工用300W KrF激光器“G300K”

栃木县小山市 -- (美国商业资讯) -- 2020年4月14日、半导体光刻光源制造商Gigaphoton株式会社(总部:栃木县小山市、董事长兼总经理:浦中克己)宣布,采用半导体制造光刻光源技术的GIGANEX系列新产品、KrF激光器“G300K”已于3月出厂。 KrF激光器“G300K”是以本公司光刻光源KrF激光器技术为基础,将微烧蚀等“加工优化”作为理念,在保持高稳定性、99%以上运转率以