洁净度专题

【电子通识】洁净度等级划分及等级标准

洁净度常用于评估半导体、生物制药、医疗、实验室及科研院所、新能源等领域的洁净室、无尘室或者无菌室等环境。         一般来说,晶圆光刻、制造、测试等级为100级或1000级的洁净间,百级洁净间要求空气中0.5微米的尘埃粒子数不得超过每立方米3520个;等级为1000级的洁净间要求0.5微米的尘埃粒子数不得超过每立方米35200个。         晶圆切割或封装工序一