引言 由于乙酸不会氧化铜表面，因此乙酸常用于去除氧化铜而不侵蚀铜膜。乙酸还具有低表面张力，易于从表面移除。因此，不需要去离子(DI)水冲洗来移除残留的乙酸，可以防止水冲洗导致的铜再氧化。 英思特研究了在低温下用乙酸去除氧化铜。乙酸去除各种氧化铜，包括氧化亚铜、氧化铜和氢氧化铜，而不会侵蚀下面的铜膜。这些氧化物的去除通过X射线光电子能谱测定。乙酸可以耐受且不妨碍氧化物的去除，同时产生无氧化物的表