随着科技的飞速发展，微电子机械系统（MEMS）技术正成为当今科技领域的一颗耀眼明星。这项技术结合了微电子学和机械工程，创造出微小而精密的设备，为各行各业带来了革命性的变革。本文将深入介绍MEMS技术的基本概念、工作原理、应用领域以及其对现代社会的影响。 MEMS技术的基本概念： 微电子机械系统（MEMS）是一种在微米尺度下制造、操作和控制机械系统的技术。它涵盖了微型传感器、微型执行