在半导体制程中，大多数的朋友对于晶圆干燥的印象还停留在旋转式甩干机（SRD）的阶段。晶圆旋转式甩干是目前最普遍的一种晶圆甩干方式，但是在很多工序中，并不太适合用旋转式甩干机，那么IPA（异丙醇）蒸汽干燥就派上了大用途，那么IPA蒸汽干燥有什么优势？又是怎么进行晶圆干燥的呢？ 什么是旋转式甩干机？ 之前的文章已有介绍，可以查看：    旋转式甩干机的缺点？