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拉晶工艺设备——切片机
单晶炉拉出硅棒后,经硅棒切断、外园整形,便用切片机切成薄片,供后续工艺使用。切片机也用于玻璃、陶瓷、 大理石、花岗岩等硬脆材料的切割。 半导体行业使用的切片机按结构形式可分为立式切片机、卧式切片机,按刀片形式可分内圆切片机、外园切片机、多刀切片机、线切割机等如下图所示。 现以立式内圆切片机为例,介绍其工作原理和功能特点: 切片机的切割刀具的基片是不锈钢
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