在半导体制程中，大多数的朋友对于晶圆干燥的印象还停留在旋转式甩干机（SRD）的阶段。晶圆旋转式甩干是目前最普遍的一种晶圆甩干方式，但是在很多工序中，并不太适合用旋转式甩干机，那么IPA（异丙醇）蒸汽干燥就派上了大用途，那么IPA蒸汽干燥有什么优势？又是怎么进行晶圆干燥的呢？ 什么是旋转式甩干机？ 之前的文章已有介绍，可以查看：    旋转式甩干机的缺点？

1. 一种超高纯异丙醇的生产工艺，其特征在于：所述的工艺主要包括以下工艺步骤： (1) 脱水：将含有至少98%工业级异丙醇的进料物流送入分子筛吸附塔，所述的异丙 醇自分子筛吸附塔的塔底部进入，经分子筛脱水后自塔顶部流出，得水含量小于lOOppm的 咼纯异丙醇； (2) 过滤：将从分子筛吸附塔取出的高纯异丙醇通过过滤器，去除lum以上的颗粒； (3) 精馅：将经过滤后合格的高纯异丙醇进入蒸馅塔