场限环专题

终端设计仿真 —— 场限环 (FLR)

终端设计的目的:降低元胞扩展的耗尽层的曲率,采用场限环、场板等结构把电场的峰值从芯片的表面引入体内,从而提高击穿电压。 1. 单浮空场限环         图 2-9 中左边的 P+ 区域相当于元胞区最后一个 Pbody,通常叫做主结,右边的 P+ 区是终端的单个浮空场限环。图中 Ws 为主结与场限环之间的间距,为了使场限环的作用达到最大,Ws 有最优值。         浮