知 识星球（星球名： 芯片制造与封测社区，星球号： 63559049）里的学员问： 我看 到一本书上 说刻蚀SiO2需要C，这个C会和SiO2中的O结合。 较弱的 si和f结合从而被刻蚀。 但是另一本书上写SiO2刻蚀是因为离子轰击打断了Si=O键才造成刻蚀，这两个说法哪个正确？ 化学反应的本质？化学反应的本质是旧键的断裂与新键的生成。化学反应消耗了反应物，