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半导体制造中的压缩气体及其高压扩散器如何选择 北京中邦兴业
了解高压扩散器 高压扩散器(HPD)对于保持压缩气体样品中颗粒计数的精度至关重要。它们充当颗粒计数器和压缩气体管线之间的纽带,在气体进入颗粒计数器的样品入口时使其扩散。这确保了压力得到控制,以防止对颗粒计数器样品室的敏感内部传感器组件造成任何损坏。 高压扩散器的类型 HPD主要有两种类型:排气回流和排气端口。排气回流HPD将气体释放到环境中,而排气端口 HPD则将气体安全地排出测试区
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