便携x射线荧光光谱仪(XRF)是一种常用的光谱技术，既可用于材料的组成成分分析，又可用于涂层和多层薄膜厚度的测量等。与所有的分析仪器一样，在做出购买决定前应当考虑许多因素，例如应用领域等细节。所以，下面将着重讨论在选择一套用于测量薄层材料厚度的X射线荧光光谱仪体系时应当考虑的一些重要因素，讨论的对象主要为能量色散X射线荧光光谱仪体系（EDXRF），这种体系如今已经具有许多不同的配置规格，既有台式配