在企业经营生产中如何高标准规模化生产，是每个制造型企业必须要解决的问题。自动化生产通常包括视觉系统和机械执行两部分，在高精度视觉对位系统中，UVW对位平台是比较常用的一种机械执行机构。UVW对位平台，又称XXY、XYR 对位平台，属于三轴并联运动机构。UVW平台可以实现以平面上任意一点为中心，进行旋转运动的装置，并可沿着任意的方向平移。目前被广泛用于曝光机、邦定机、光罩印刷机、WAFER 对位、零