铝酸镁钪（ScMgAlO4） ScAlMgO4晶体是最近发展起来的一种GaN和ZnO异质外延用理想的衬底材料，是目前与GaN和ZnO晶格失配最小的新型衬底材料。ScAlMgO4晶体属于六方晶系，晶格常数a=0.3246nm，c=2.5195nm，具有菱形六面体层状结构，与纤锌矿氮化物和氧化锌的结构相似。 ScAlMgO4是一种与GaN和ZnO 晶格常数和结构非常匹配的衬底材料（表1）。它与Ga