pecvd专题
泽攸科技PECVD设备助力开发新型石墨烯生物传感器
近日，松山湖材料实验室许智团队与清华大学符汪洋合作在纳米领域头部期刊《Small》上发表了一项引人注目的研究成果，题为“Ultrasensitive biochemical sensing platform enabled by directly grown graphene on insulator”（硅晶圆上直接生长石墨烯实现高灵敏生化传感平台）。这项研究利用泽攸科技的等离子体增强化学气相沉积