半导体设备自动化和智能化程度很高。作为黑灯工厂，工厂就必须做到高度自动化。设备和工厂通过什么方式进行关联起来呢，半导体行业提出了相关的semi标准。 金南瓜科技www.secsgem.cn 1。 基本的通讯层：SECS/GEM 也称为GEM200 E4 SECS I（SPECIFICATION FOR SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1 MESSAGE