通过采用光刻新技术对生产效率提升以及可持续性做出重大贡献 栃木县小山市--(美国商业资讯)--半导体光刻光源制造商 Gigaphoton株式会社（总部：栃木县小山市、董事长兼总经理：浦中克己）宣布，开始批量生产新型KrF光刻机用光源“G60K”。 在全球半导体供应短缺依然持续的背景下，由于对RF通信处理和车载半导体等的40 nm以下成熟节点的半导体需求不断增加，以及采用3D NAND生