知识星球（星球名：芯片制造与封测社区，星球号：63559049）里的学员问：Ashing是什么工序？有什么作用？ Ashing是什么？Ash翻译为中文，动词的意思是：“ 把……化为灰烬”，名词的意思为：“灰；灰烬”。 从字面上可以理解为将光刻胶“化成灰烬”，即使用等离子体的方法去除少量的光刻胶。一般在显影之后进行，主要是为了除去硅片表面的极薄的胶层或抗反射层等。 Ashing工