两种经过验证的设计相结合:带有低温探针台的 8425 型直流霍尔系统

本文主要是介绍两种经过验证的设计相结合:带有低温探针台的 8425 型直流霍尔系统,希望对大家解决编程问题提供一定的参考价值,需要的开发者们随着小编来一起学习吧!

      客户有时会要求比我们的标准系统中提供的更专业的表征和测量工具。而且,通常情况下,我们能够通过为他们独特的应用定制系统来适应他们。当经常需要相同类型的定制系统时,将其作为标准产品提供才有意义。

      这就是我们的新型号 8425 的部分原因。认识到你们中的许多人要求对晶圆级材料进行无损霍尔测试并改进霍尔测量的环境控制,我们将8400 系列霍尔系统的直流霍尔测量功能与CRX-VF的灵活性和便利性相结合低温探针台创建新的8425 型系统。 

      作为一个完全集成的解决方案,它使您能够对直径达 51 毫米(2 英寸)的晶圆级材料进行霍尔测量,因此无需像传统霍尔器件通常要求的那样切割和焊接导线到样品上系统——同时为您提供最新的Lake Shore Hall 测量软件,用于系统操作、数据采集和材料分析。

      此外,由于样品处于真空状态(标准霍尔系统不提供),因此 8425 型是理想的测量平台,适用于易受大气暴露引起降解或可能需要初始烘烤以去除水分的材料。在进行测量之前,可以在工作站内的真空中加热材料以去除任何残留的水分。

      我们相信 8425 型将使那些特别需要对较大材料样品进行可变温度霍尔测量的研究人员受益,尤其是那些在同一晶片上具有不同测试结构图案的材料。它应该有助于表征 III-V 族半导体,包括 HEMT,以及 II-Vi 和元素半导体,例如逐步构建在晶圆衬底上的 FET 结构。一旦您创建了一组初始设备,您就可以将晶片加载到 8425 型工作站并运行测量,然后在连续的制造步骤后重复这些测量。直流场测量功能与我们的其他 8400 系统相同,包括霍尔电压、IV 曲线、电阻和电阻率,导出的值包括霍尔系数、霍尔迁移率、载流子类型、载流子密度和磁阻。

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