互联网时代 MEMS的前世今生

二十年前，MEMS在整个IC市场上可能被视为一种另类的利基应用。现在则已大相径庭。2017年，MEMS、传感器和致动器(actuator)占全球芯片销售额4,200亿美元的11%。而且，MEMS在整个半导体市场的占有率还会更进一步增加。Mounier预测，到2023年将增加到15%～20%。

移动(mobile)和汽车是进一步推动MEMS需求的两个最大领域。Yole预测，2023年的移动应用将为传感器和致动器创造530亿美元的营收，而汽车应用则有205亿美元。MEMS的下一波趋势将会是工业4.0 (46亿美元)、医疗保健(23亿美元)和语音处理(14亿美元)。

MEMS进化
回顾在1980和1990年代初期的MEMS，Mounier指出，当时的MEMS完全与检测机械运动、压力或冲击的基本传感器脱离不了关系。他说：“但那些传感器并不是很精确”。

进入21世纪，用于MEMS的电子和材料改善后，让传感器足够精确以测量物体。Mounier说，MEMS已可使用旋转传感和可见光管理(DLP)。而在2000-2010年中期，声音和红外线(IR)波长也被加进MEMS技术中。

简言之，MEMS从实体传感器转向光管理(如微镜)、然后是红外线传感(微辐射热测量计)。麦克风以及语音，也助长了MEMS的发展。

MEMS革命带来了第一款超越人类感官的传感器。据Mounier说，如今，MEMS和传感器的发展以其于“超音波、遥感超谱(hyperspectral)、RF和其它方面的传感能力，已经远远超人类的能力。”

MEMS中最热门的趋势是传感器融合。透过将多个传感器整合至一个封装中，MEMS可以撷取“全方位环境感知”，Mounier解释说。

别忘了，随着传感器整合在一起，用户期望多传感器套件的软件结合感官数据，还能够产生更高度度的智慧。下一个里程碑可说是传感器和人工智能(AI)的“伏尔甘”(Vulcan，罗马神话中的火与工匠之神，其司掌的熔炉被视为神奇的源泉)心灵融合能力。

尽管传感器融合技术在汽车和智能手机中的应用已非常流行，但该产业针对应该在哪里进行融合仍然存在分歧。一些公司开始在更接近传感器的位置处理数据。其他人则主张后端的数据融合。Mounier坦承，业界对此的争辩不曾稍歇。

成长最快的传感器？

现在，按照组件类别来解析传感器营收，2017年CMOS成像营收高达134亿美元，位居排行榜第一，其次是RF、雷达和指纹传感器。

但是，如果你问2023年成长最快的传感器，那么，3D最受青睐。针对激光雷达(LiDAR)的高需求，Mounier看好3D传感器的CAGR将会达到40%。