真空磁场退火高温炉的设计方案

磁场退火高温炉是由升温高温炉，高温炉加热电源，Labview控制软件，电磁铁，高精度双极性恒温电源，分子泵组，水冷机组共同组成的一套反馈调节的加热系统。

概述：

锦正茂科技生产的高温真空磁场加热炉系统，是有升温高温炉，高温炉加热电源，Labview控制软件，电磁铁，高精度双极性恒温电源，分子泵组，水冷机组共同组成的一套反馈调节的加热系统。

该高温磁场加热炉系统是由分子泵组中的机械泵（干泵）先对真空腔体（样品腔）进行粗抽，达到可以开启分子泵的极限真空时，在开启分子泵进行高真空的抽取，达到客户所需的真空度。打开软件，通过在软件中输入需要的磁场值和温度值，通过闭循环反馈调节，使设备内样品的温度自动控制并稳定在某一个温度值，软件可以按照用户给定的实验条件完成实验。

磁场控制：用户可以直接通过软件设定所需要的磁场大小，由高精度高斯计读取实际磁场值，再将实际读出的磁场值反馈给高精度恒流电源，通过电源内部软件处理后，直接由控制高精度恒流电源的输出电流，从而实现用户所需要的磁场，并实时显示在软件上；

温度控制：通过在软件上人机交互界面直接设置所需要的温度值，计算机软件处理后指令到达高温炉加热控制器。控制器通过温度传感器（热电偶）读出样品区的实际温度值，并通过其内部设置的模糊控制PID调节输出电流的大小，总而使温度值稳定在某一精度范围内，从而实现用户所需要的不同温度。

真空环境：通过分子泵组获得真空环境，由高真空全量程真空计显示并监控，并实时的将检测结果传递给计算机。

退火过程：在强磁场（或无磁）环境下对样品进行加热，加热到一定温度（用户需要自己设定）并保持在该温度，再持续加一个磁场（可随时变化），达到用户的目的后，关闭磁场，关闭加热环境，冷却到室温。

样品环境：高温磁场加热炉可以将被测样品同时置于强磁场、高真空、高温环境中。同时也可以单独或任意组合这三种实验环境，满足不同样品在不同环境下的测试要求。

适应范围：需在高温、高真空、强磁场环境中加热或去磁的各种软磁性材料。

主要技术指标：

※ 真空室及主要零部件材质均为304无磁不锈钢；

※ 采用的真空获得系统为分子泵组；真空测量为数显全量程真空计；

※ 真空度及漏率：① 真空室极限真空度6´10-5Pa(冷态)；②漏率<10-11Pa.L/s，真空度随着温度变化，会出现波动，属于正常情况；

※ 在室温到900度，升温速率优于100K/min，高温加热温度1000℃；控温精度：±1℃；

※ 加热时，加热丝被封装在石英管内，极大程度的减少由于加热丝的挥发造成样品表面附着物的污染；

※ 匹配磁铁电源：双极性，稳定度优于50ppm/h，平滑过零无断点；

※ 匹配电磁铁：长时间运行稳定度<±0.5Gs；

※ 冷却方式：水冷。

样品腔尺寸

配备磁场